特種氣體研發(fā)主要包括電子氣體、醫(yī)療氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、激光氣體、食品氣體、電光源氣體等，其中，電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產(chǎn)業(yè)的加工制造過(guò)程，主要包括清洗、蝕刻、光刻、外延、摻雜等，是下游行業(yè)關(guān)鍵性化工基礎(chǔ)材料，被譽(yù)為電子產(chǎn)業(yè)的“糧食”和“源”，現(xiàn)有單元特種氣體260余種，可配制成25000多種混合氣體。